[发明专利]一种基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器

权利要求书

1.一种基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于，包括反铁磁层、钉扎层、二维材料层、自由层、受力层，所述反铁磁层的材料为硬磁反铁磁材料，所述钉扎层置于所述反铁磁层上，所述钉扎层的材料为自旋性极化率高的金属或半金属，所述二维材料层置于所述钉扎层上，所述自由层置于所述二维材料层上，所述自由层的材料为磁各向异性弱的软磁材料，所述受力层置于所述自由层上。

2.如权利要求1所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述二维材料层的材料为二硫化钼。

3.如权利要求2所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：在所述二维材料层与所述自由层的界面处，所述自由层内设有孔洞。

4.如权利要求3所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述孔洞内设有压电材料。

5.如权利要求3所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述孔洞内设有压磁材料。

6.如权利要求1所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述二维材料层为石墨烯复合层，所述石墨烯复合层包括石墨烯层和碳纳米管层。

7.如权利要求6所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述碳纳米管层置于所述石墨烯层上，所述石墨烯层置于所述钉扎层上。

8.如权利要求7所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：还包括第二石墨烯层，所述第二石墨烯层置于所述碳纳米管层上。

9.如权利要求8所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：还包括压电材料颗粒，所述压电材料颗粒置于所述第二石墨烯层上。

10.如权利要求9所述的基于二维材料量子隧穿的高灵敏压力传感器，其特征在于：所述第二石墨烯层为褶皱状。