[发明专利]电子显微镜系统在审
| 申请号： | 202110693214.1 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113555267A | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 曹峰;卢志钢;姚一帆;刘纪凯;孙思嘉;张齐容;栗宽;徐强 | 申请（专利权）人： | 纳境鼎新粒子科技（广州）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/147;H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京万思博知识产权代理有限公司 11694 | 代理人： | 刘冀 |
| 地址： | 510630 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束(50)对样品(40)进行扫描，包括：多电子束形成子系统(10)以及多电子束扫描子系统(20)，其中多电子束形成子系统(10)用于形成多个电子束(50)，多电子束扫描子系统(20)用于将多个电子束(50)投射至样品(40)，并且其中多电子束扫描子系统(20)包括偏转器模组(240)，偏转器模组(240)通过施加的电场和/或磁场改变电子束(50)的轨迹，对样品(40)进行扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 系统 | ||
【主权项】：
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