[发明专利]电子显微镜系统

说明书

本申请公开了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束(50)对样品(40)进行扫描，包括：多电子束形成子系统(10)以及多电子束扫描子系统(20)，其中多电子束形成子系统(10)用于形成多个电子束(50)，多电子束扫描子系统(20)用于将多个电子束(50)投射至样品(40)，并且其中多电子束扫描子系统(20)包括偏转器模组(240)，偏转器模组(240)通过施加的电场和/或磁场改变电子束(50)的轨迹，对样品(40)进行扫描。

技术领域

本申请涉及电子显微镜技术领域，特别是涉及一种电子显微镜系统。

背景技术

电子显微镜是重要的科学仪器，在材料科学，生命科学，半导体工业等领域发挥着巨大的作用。电子显微镜通常可以分为透射电子显微镜和扫描电子显微镜。一般来讲，透射电子显微镜还可以拥有扫描透射的功能，是利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，在扫描的过程中，通过收集透射薄样品的电子束信息，以达到物质微观形貌表征的目的。尽管显示出样品的微观细节能够满足人们的需求，但是效率(即单位时间可以扫描的图像面积)太低。并且现有的电子显微镜一般仅支持单个样品的扫描，并且不能同时有效收集扫描样品的透射信息。

针对上述的现有技术中存在的现有的电子显微镜仅支持单个样品的扫描，并且扫描效率低以及无法同时收集扫描样品的透射信息的技术问题，目前尚未提出有效的解决方案。

发明内容

本公开提供了一种电子显微镜系统，以至少解决现有技术中存在的电子显微镜仅支持单个样品的扫描，并且扫描效率低以及无法同时收集扫描样品的透射信息的技术问题的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束对样品进行扫描，包括：多电子束形成子系统以及多电子束扫描子系统。其中偏转器多电子束形成子系统用于形成多个电子束，偏转器多电子束扫描子系统用于将偏转器多个电子束投射至样品。并且其中，偏转器多电子束扫描子系统包括偏转器模组，偏转器偏转器模组通过施加的电场和/或磁场改变偏转器电子束的轨迹，对样品进行扫描。

根据本申请的另一个方面，提供了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束对样品进行扫描，包括：多电子束形成子系统以及多电子束扫描子系统，其中多电子束形成子系统用于形成多个电子束，多电子束扫描子系统用于将多个电子束投射至样品，并且其中，多电子束扫描子系统包括：聚焦透镜模组阵列、电子束闸阵列以及光阑。其中，聚焦透镜模组阵列设置于多电子束形成子系统下侧，用于将多个电子束聚焦在电子束闸阵列；以及电子束闸阵列设置于聚焦透镜模组阵列下侧，用于控制多个电子束中各个电子束的倾斜进而控制各个电子束穿过或偏离光阑的光阑孔。

根据本申请的另一个方面，提供了一种电子显微镜系统，用于生成多个电子束对样品进行扫描，包括：设置于用于承载样品的样品载具下侧的多电子束收集子系统，其中多电子束收集子系统包括：投影镜模组以及设置于投影镜模组下侧的扫描透射探测器阵列。并且，投影镜模组用于将透过样品的电子束投射到扫描透射探测器阵列上；以及扫描透射探测器阵列包括多个独立探测器，用于分别收集透过样品的不同的电子束。

从而根据本申请实施例提供的电子显微镜系统，通过多电子束形成子系统形成扫描样品的多个电子束，然后通过多电子束扫描子系统将多个电子束投射到样品上，对样品进行扫描。其中多电子束扫描子系统设置有偏转器模组，通过在偏转器模组施加电场或者磁场改变多个电子束的运动轨迹，达到对样品进行垂直投射扫描的技术效果。从而本申请的电子显微镜系统不仅可以形成对样品进行扫描的多个电子束，并且通过偏转器模组实现多个电子束垂直投射样品，进而可以比较充分得到样品的垂直投影信息，不失真的探测样品的结构信息，达到对样品进行高效扫描以及便于收集样品的透射电子信号的技术效果。并且通过多电子束收集子系统实现对扫描过样品的电子束进行收集，从而达到对样品的投射信息进行图像显示的技术效果。进而解决了现有技术中存在的现有的电子显微镜仅支持单个样品的扫描，并且扫描效率低以及无法同时收集扫描样品的透射信息的技术问题。