[发明专利]卡盘工作台和加工装置在审
| 申请号： | 202110691571.4 | 申请日： | 2021-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN113843708A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 宫本弘树 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B41/00;B24B7/10;B24B49/04 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供卡盘工作台和加工装置，使卡盘工作台小型化。卡盘工作台(2)具有：保持面(210)，其对被加工物(14)进行保持；和测量面(230)，在将上表面高度测量器(6)定位于保持面的上方的状态下，该测量面形成于通过使用工作台旋转部(25)使卡盘工作台进行旋转而相对于卡盘工作台进行相对移动的上表面高度测量器(6)的第1测量轨道(241)上，并且形成于不是保持面(210)的位置。在测量被加工物(14)的厚度时，在将上表面高度测量器(6)定位于第1测量轨道(241)上的状态下使卡盘工作台旋转。由于该卡盘工作台不需要具有环状的测量面，因此与具有环状的测量面的以往的卡盘工作台相比，能够实现小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 卡盘 工作台 加工 装置 | ||
【主权项】：
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