[发明专利]多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置有效
| 申请号： | 202110687508.3 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113247908B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 刘铁勇;唐红萍 | 申请（专利权）人： | 北京泽华化学工程有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京唐颂永信知识产权代理有限公司 11755 | 代理人： | 刘伟;任玮静 |
| 地址： | 100095 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置，其方法包括下述步骤：干法回收原料S101进入回收料精制塔T1分离，塔顶采出含有部分二氯二氢硅的物流S102，塔上部侧线采出含有三氯氢硅和剩余的二氯二氢硅的物流S103，塔下部侧线采出含有部分四氯化硅的物流S104，塔釜采出含有剩余四氯化硅的物流S105；含有部分二氯二氢硅的物流S102和一部分含有部分四氯化硅的物流S104进入反歧化反应器R1中反应，反应所得到的产物流S201进入反歧化分离塔T2分离，塔顶采出含有二氯二氢硅的物流S204，塔侧线采出含有三氯氢硅的物流S205，塔釜采出四氯化硅产品S206。该方法降低了投资，利于控制产品指标，并且降低了操作能耗，提高了分离指标。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 硅烷 分离 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
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