[发明专利]多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置

权利要求书

1.一种多晶硅生产中氯硅烷的分离方法，其特征在于，所述分离方法包括下述步骤：

干法回收原料（S101）进入回收料精制塔T1，分离后，塔顶采出含有部分二氯二氢硅的物流（S102），塔上部侧线采出含有三氯氢硅和剩余的二氯二氢硅的物流（S103），塔下部侧线采出含有部分四氯化硅的物流（S104），塔釜采出含有剩余四氯化硅的物流（S105）；

所述含有部分二氯二氢硅的物流（S102）和一部分所述含有部分四氯化硅的物流（S104）进入反歧化反应器R1中进行反应，将反应所得到的产物流（S201）进入反歧化分离塔T2，分离后，塔顶采出含有二氯二氢硅的物流（S204），塔侧线采出含有三氯氢硅的物流（S205），塔釜采出四氯化硅产品（S206）；

所述含有三氯氢硅的物流（S205）和氢化料（S300）进入氢化料精馏单元；

所述氢化料精馏单元包含精馏塔T3、吸附柱A1、吸附柱A和精馏塔T4，所述含有三氯氢硅的物流（S205）和氢化料（S300）进入精馏塔T3，分离后，从塔侧线采出物流（S302），塔釜采出含有三氯氢硅的物流（S303），塔顶采出含有二氯二氢硅和三氯氢硅的物流（S301），物流（S302）进入到吸附柱A1后采出物流（S401），物流（S401）进入到精馏塔T4中，分离后，塔侧线采出太阳能级三氯氢硅产品（S403），塔釜采出含有三氯氢硅的物流（S404），塔顶采出含有三氯氢硅的物流（S402）；

所述含有二氯二氢硅和三氯氢硅的物流（S301）、所述含有三氯氢硅的物流（S402）、所述含有二氯二氢硅和三氯氢硅的物流（S303）和所述含有三氯氢硅的物流（S404）经过吸附柱A的吸附后进入到反歧化分离塔T2后进行分离；

所述氢化料精馏单元还包括精馏塔T5，所述太阳能级三氯氢硅产品（S403）进入到精馏塔T5，分离后，塔侧线采出电子级三氯氢硅产品（S502），塔顶采出含有三氯氢硅的物流（S501），塔釜采出含有三氯氢硅的物流（S503）；

所述含有三氯氢硅的物流（S501）和所述含有三氯氢硅的物流（S503）经过吸附柱A吸附后进入到反歧化分离塔T2后进行分离。

2.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于，所述回收料精制塔T1的塔顶压力为1-1000kpa；所述反歧化分离塔T2的塔顶压力为1-1000kpa。

3.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于，所述含有三氯氢硅的物流（S205）和氢化料（S300）的体积比例为0.1:5-5:1。

4.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于，所述含有三氯氢硅的物流（S205）和氢化料（S300）的体积比例为0.5:1-1:1。

5.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于，所述含有部分二氯二氢硅的物流（S102）和所述含有部分四氯化硅的物流（S104）的体积比例为1:1-50。

6.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于，所述吸附柱A包括吸附柱A2和吸附柱A3，所述含有二氯二氢硅和三氯氢硅的物流（S301）和所述含有三氯氢硅的物流（S402）经过吸附柱A2的吸附后进入到反歧化分离塔T2后进行分离；所述含有二氯二氢硅和三氯氢硅的物流（S303）和所述含有三氯氢硅的物流（S404）经过吸附柱A3的吸附后进入到反歧化分离塔T2后进行分离。

7.根据权利要求1所述的分离方法，其特征在于，所述精馏塔T3的塔顶压力为1-1000kpa，所述精馏塔T4的塔顶压力为1-1000kpa。

8.根据权利要求6所述的分离方法，其特征在于，

所述含有三氯氢硅的物流（S501）经过吸附柱A2的吸附后进入到反歧化分离塔T2后进行分离，所述含有三氯氢硅的物流（S503）经过吸附柱A3的吸附后进入到反歧化分离塔T2后进行分离。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的分离方法，其特征在于，所述精馏塔T5的塔顶压力为1-1000kpa。