[发明专利]基于MEMS超声波换能器芯片的超声波流量计在审
| 申请号： | 202110684568.X | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113405618A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 赵潇;夏登明;胡国俊 | 申请（专利权）人： | 智驰华芯（无锡）传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/66 | 分类号： | G01F1/66;G01F15/18 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 过顾佳;聂启新 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS超声波换能器芯片的超声波流量计，涉及超声波流量计领域，该超声波流量计基于MEMS超声波换能器芯片设计，MEMS超声波组件设置在连通主管道的支流管道内，通过主管道内部的阻流结构的作用将主管道流入支流管道内的流体流速调整降低至MEMS超声波换能器芯片的可应用范围内，使得可利用MEMS超声波换能器芯片实现预定流速范围和精度需求的流量计量要求，同时得益于MEMS芯片的小尺寸，整个超声波流量计的结构紧凑小巧。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 超声波 换能器 芯片 超声波流量计 | ||
【主权项】：
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