[发明专利]基于MEMS超声波换能器芯片的超声波流量计

权利要求书

1.一种基于MEMS超声波换能器芯片的超声波流量计，其特征在于，所述超声波流量计包括主管道、支流管道、两个MEMS超声波组件以及信号处理板，所述支流管道的进口端和出口端沿着所述主管道内部的流体流动方向分别连通至所述主管道的内腔；所述主管道内在所述支流管道的进口端和出口端之间形成有与所述进口端和出口端的截面积匹配的阻流结构；两个MEMS超声波组件安装在所述支流管道内，每个所述MEMS超声波组件基于MEMS超声波换能器芯片实现，两个MEMS超声波组件的传播路径呈预定测量角度，两个MEMS超声波换能器芯片连接所述信号处理板。

2.根据权利要求1所述的超声波流量计，其特征在于，每个所述MEMS超声波组件包括MEMS超声波换能器芯片、芯片基座以及透声保护罩，所述MEMS超声波换能器芯片固定在所述芯片基座上，所述透声保护罩固定在所述芯片基座上且与所述MEMS超声波换能器芯片间隔预定距离。

3.根据权利要求2所述的超声波流量计，其特征在于，所述透声保护罩由防水透声层和金属编织层组成。

4.根据权利要求1所述的超声波流量计，其特征在于，所述支流管道内开设有两个组件安装口，两个MEMS超声波组件分别可拆卸的设置在两个组件安装口内。

5.根据权利要求1所述的超声波流量计，其特征在于，所述支流管道安装在所述主管道的壳体外表面的上方，所述信号处理板安装在所述支流管道和所述主管道的壳体之间的空隙中。

6.根据权利要求5所述的超声波流量计，其特征在于，所述支流管道和所述主管道的壳体之间的空隙中设置有电路板保护盒，所述电路板保护盒内部设置有压扣，所述信号处理板设置在所述电路板保护盒内的盒底与压扣之间的插槽内，所述盒底与压扣紧固所述信号处理板，所述MEMS超声波组件与所述信号处理板之间通过所述电路板保护盒上的电气连接器相连。

7.根据权利要求1-6任一所述的超声波流量计，其特征在于，所述主管道的内壁在所述支流管道的进口端和出口端之间向内凸起形成文丘里管式的阻流结构。

8.根据权利要求1-6任一所述的超声波流量计，其特征在于，所述支流管道内还设置有支流管道整流隔板，所述支流管道整流隔板的板面平行于流体流动方向。

9.根据权利要求1-6任一所述的超声波流量计，其特征在于，所述支流管道的内腔垂直于流体方向的截面呈矩形。

10.根据权利要求1-6任一所述的超声波流量计，其特征在于，在所述支流管道的进口端处，所述支流管道与所述主管道中的流体流动方向呈45～90度。