[发明专利]一种扩大金刚石籽晶面积的沉积部和方法有效
| 申请号： | 202110658265.0 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113355746B | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 王垒;温简杰 | 申请（专利权）人： | 上海昌润极锐超硬材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 金彦;许亦琳 |
| 地址： | 201611 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扩大金刚石籽晶面积的沉积部和方法，所述沉积部包括冷却单元、基板台和钼环；所述基板台设于所述冷却单元上；所述基板台包括底座和位于所述底座上的金刚石承托部，所述金刚石承托部为柱状，并被设置为适于在所述钼环的环孔内上下活动；所述冷却单元和所述基板台可升降，用于调整放于所述金刚石承托部上金刚石籽晶的上平面与钼环顶面的高度差。所述方法包括如下步骤：将金刚石籽晶放于该沉积部的金刚石承托部上，在生长过程中，保持金刚石籽晶的上平面低于钼环顶面，金刚石籽晶的上平面与钼环顶面的高度差为0.01～4mm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扩大 金刚石 籽晶 面积 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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