[发明专利]一种微测辐射热计的三层像元结构有效
| 申请号： | 202110655660.3 | 申请日： | 2021-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN113390513B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 冯睿;安宁;孙芳魁;丁卫强;曹永印 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01J5/48 | 分类号： | G01J5/48;G01J5/24 |
| 代理公司： | 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 | 代理人： | 王新雨 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种微测辐射热计的三层像元结构，包括光吸收层、热敏层、电极层及其衬底。光吸收层与热敏层之间形成光学谐振腔，通过中空桥柱相连，减小微桥热容。热敏层将热敏电阻层最大化增加对红外透过光的吸收率，电极层将电极桥腿从两端弯曲摆布，增加桥腿的长度，减少热导。热敏层与电极层上下均铺有钝化层，电极桥腿分别与热敏电阻层和衬底相连，实现电学连通和热学连通。本发明在兼顾时间响应常数的同时，具有较高的红外吸收率和较低的热导，有效提高了像元的温升，具有更高的温度响应率和热灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 辐射热 三层 结构 | ||
【主权项】：
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