[发明专利]一种基于空间相移的散斑干涉烧蚀测量系统及方法有效
申请号: | 202110654024.9 | 申请日: | 2021-06-11 |
公开(公告)号: | CN113358324B | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 隆永胜;汪盛佳;杨建军;王磊;韩新星 | 申请(专利权)人: | 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所;哈尔滨工程大学 |
主分类号: | G01M9/06 | 分类号: | G01M9/06;G01M9/08 |
代理公司: | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人: | 张莉瑜 |
地址: | 621051 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明涉及一种基于空间相移的散斑干涉烧蚀测量系统及方法,该系统包括:激光器、准直扩束单元、分束单元、载物面、参考面、第一成像透镜、参考光透镜、测量臂孔径、参考臂孔径、合束单元、第二成像透镜和面阵相机单元;激光器发出的相干光经准直扩束后,分光到测量臂和参考臂中,在两臂中分别安放一个独立的可调孔径,引入可调节的空间相移,两臂合束并汇聚在面阵相机单元处形成干涉,可通过从空间相移上定量求解烧蚀模型的变化量;本发明的技术方案具有适应风洞极端环境的工作能力,降低了散斑干涉测量系统对测量环境的要求,提高了测量的精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 空间 相移 干涉 测量 系统 方法 | ||
【主权项】:
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