[发明专利]一种基于空间相移的散斑干涉烧蚀测量系统及方法有效

专利信息
申请号: 202110654024.9 申请日: 2021-06-11
公开(公告)号: CN113358324B 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 隆永胜;汪盛佳;杨建军;王磊;韩新星 申请(专利权)人: 中国空气动力研究与发展中心超高速空气动力研究所;哈尔滨工程大学
主分类号: G01M9/06 分类号: G01M9/06;G01M9/08
代理公司: 北京格允知识产权代理有限公司 11609 代理人: 张莉瑜
地址: 621051 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及一种基于空间相移的散斑干涉烧蚀测量系统及方法,该系统包括:激光器、准直扩束单元、分束单元、载物面、参考面、第一成像透镜、参考光透镜、测量臂孔径、参考臂孔径、合束单元、第二成像透镜和面阵相机单元;激光器发出的相干光经准直扩束后,分光到测量臂和参考臂中,在两臂中分别安放一个独立的可调孔径,引入可调节的空间相移,两臂合束并汇聚在面阵相机单元处形成干涉,可通过从空间相移上定量求解烧蚀模型的变化量;本发明的技术方案具有适应风洞极端环境的工作能力,降低了散斑干涉测量系统对测量环境的要求,提高了测量的精度。
搜索关键词: 一种 基于 空间 相移 干涉 测量 系统 方法
【主权项】:
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