[发明专利]压电元件、压电元件应用设备在审
申请号: | 202110653119.9 | 申请日: | 2021-06-11 |
公开(公告)号: | CN113809228A | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 酒井朋裕;滨田泰彰 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;H01L41/047 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 权太白 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种在作为压电体层的材料而使用了铌酸钾钠的压电元件中作为压电特性而能够获得更大的位移特性的压电元件以及压电元件应用设备。压电元件(1)具备第一电极(20)、第二电极(40)和被设置在第一电极(20)与第二电极(40)之间的压电体层(30),其中,压电体层(30)由包括钾(K)、钠(Na)和铌(Nb)的钙钛矿型结构的复合氧化物组成,并且在基于θ‑2θ测量的X射线衍射图谱中,具有源自(100)面的第一峰、源自(010)面的第二峰和源自(001)面的第三峰。 | ||
搜索关键词: | 压电 元件 应用 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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