[发明专利]压电元件、压电元件应用设备在审
申请号: | 202110653119.9 | 申请日: | 2021-06-11 |
公开(公告)号: | CN113809228A | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 酒井朋裕;滨田泰彰 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | H01L41/187 | 分类号: | H01L41/187;H01L41/047 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 权太白 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 元件 应用 设备 | ||
1.一种压电元件,其具备第一电极、第二电极和被设置在所述第一电极与所述第二电极之间的压电体层,其中,
所述压电体层由包括钾、钠和铌的钙钛矿型结构的复合氧化物组成,并且在基于θ-2θ测量的X射线衍射图谱中,具有源自(100)面的第一峰、源自(010)面的第二峰和源自(001)面的第三峰。
2.如权利要求1所述的压电元件,其中,
所述压电体层通过溶液法而被形成。
3.如权利要求1或2所述的压电元件,其中,
所述第一峰的X射线衍射强度大于所述第三峰的X射线衍射强度。
4.如权利要求3所述的压电元件,其中,
所述第二峰的X射线衍射强度大于所述第三峰的X射线衍射强度,所述第一峰的X射线衍射强度大于所述第二峰的X射线衍射强度。
5.如权利要求1所述的压电元件,其中,
所述压电体层包括Mn。
6.一种压电元件应用设备,其具备权利要求1至5中的任意一项所述的压电元件。
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