[发明专利]一种磁性椭偏测量装置有效
| 申请号： | 202110643025.3 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113310907B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 刘世元;刘佳敏;江浩;龚雯棋 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01;G01R33/12 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 刘洋洋 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种磁性椭偏测量装置，装置包括椭偏测量模块、磁场加载模块以及样品台，椭偏测量模块用于对样品进行光学测量，磁场加载模块包括水平磁场加载模块以及竖直磁场加载模块，其中，水平磁场加载模块包括水平移动组件、第一永久磁铁磁极对、旋转台，旋转台用于带动水平移动组件在水平面内旋转，水平移动组件用于使第一永久磁铁磁极对中的两磁铁相向或向背运动；竖直磁场加载模块包括竖直移动组件以及第二永久磁铁磁极对，竖直移动组件使得第二永久磁铁磁极对的两磁铁相对样品台相向或相背运动。本申请可以对不同磁场强度和不同模式磁场下的待测样品开展椭偏参数和穆勒矩阵测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁性 测量 装置 | ||
【主权项】：
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