[发明专利]一种磁性椭偏测量装置

权利要求书

1.一种磁光椭偏测量装置，其特征在于，所述装置包括椭偏测量模块(100)、磁场加载模块(200)以及样品台(300)，其中：

所述椭偏测量模块(100)包括入射起偏光路和反射检偏光路，入射起偏光路上的测量光经所述样品台(300)上的待测样品反射后进入所述反射检偏光路，其中，所述入射起偏光路沿光路方向依次布置有光源(111)、准直透镜(112)以及偏振态发生组件(113)，所述反射检偏光路沿光路方向依次布置有偏振态探测组件(121)、会聚透镜(122)以及光谱仪(123)；

所述磁场加载模块(200)包括水平磁场加载模块(210)以及竖直磁场加载模块(220)，其中，所述水平磁场加载模块(210)包括水平移动组件(211)、第一永久磁铁磁极对(212a、212b)、旋转台(213)，所述水平移动组件(211)对称设于平行设于所述样品台(300)两侧，所述旋转台(213)用于带动所述水平移动组件(211)在水平面内旋转，第一永久磁铁磁极对(212a、212b)中的两磁铁设于所述样品台(300)的两侧并分别设于所述水平移动组件(211)上，使两磁铁相向或向背运动；所述竖直磁场加载模块(220)包括竖直移动组件(221)以及第二永久磁铁磁极对(222a、222b)，所述竖直移动组件(221)垂直于所述样品台(300)平面，所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)的两磁铁设于所述样品台(300)的上下侧并分别设于所述竖直移动组件(221)上，使得所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)的两磁铁相对所述样品台(300)上的样品相向或相背运动。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一永久磁铁磁极对(212a、212b)中的两磁铁对称设于所述样品台(300)的两侧，且所述样品台(300)上的待测样品位于所述第一永久磁铁磁极对(212a、212b)产生的磁场中间。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述水平移动组件(211)包括第一双向丝杠(211a)和设于所述第一双向丝杠(211a)两端的第一基座(211b)，所述第一永久磁铁磁极对(212a、212b)中的两磁铁分别设于所述第一基座(211b)上。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述水平移动组件(211)还包括间距控制单元，用于控制所述第一永久磁铁磁极对(212a、212b)中的两磁铁与样品之间的距离。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)的两磁铁对称设于所述样品台(300)的上下侧，且所述样品台(300)上的待测样品位于所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)产生的磁场中间。

6.根据权利要求1或5所述的装置，其特征在于，所述竖直移动组件(221)包括第二双向丝杠(221a)和设于所述第二双向丝杠(221a)两端的第二基座(221b)，所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)的两磁铁分别设于所述第二基座(221b)上。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述竖直移动组件(221)还包括间距控制单元，用于控制所述第二永久磁铁磁极对(222a、222b)中的两磁铁与样品之间的距离。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述偏振态发生组件(113)包括起偏器与一对光弹调制器，所述偏振态探测组件(121)包括一对光弹调制器和检偏器。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源产生光的波长为200nm～1700nm。

10.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述入射起偏光路和反射检偏光路还包括微透镜。