[发明专利]一种分析仪的校准方法及芯片测试方法和系统在审
| 申请号： | 202110635309.8 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113504454A | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 段源鸿;刘石头;刘丽娟;黄富华;苏玉;谭游杰 | 申请（专利权）人： | 深圳市时代速信科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郭浩辉;颜希文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片测试技术领域，特别是涉及一种分析仪的校准方法及芯片测试方法和系统。所述校准方法包括：第一分析仪测量直通芯片的第一散射参数，第一散射参数为直通芯片的散射参数，所述直通芯片为与待检测芯片具有相同尺寸和引脚的芯片，且所述直通芯片的第一引脚和第二引脚通过导线相连接；第一分析仪测量直通芯片和顶针的第二散射参数，根据第一散射参数和第二散射参数得到顶针的第三散射参数，并根据所述第三散射参数，调整所述第一分析仪内的内部参数，以使所述第一分析仪完成顶针与直通芯片的第一引脚和第二引脚连接端面的校准。有益效果：分析仪校准到芯片引脚和顶针的连接端面上，消除了顶针对射频测试的影响，提高了芯片测试的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分析 校准 方法 芯片 测试 系统 | ||
【主权项】：
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