[发明专利]掩模干燥装置在审
| 申请号： | 202110634856.4 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN114068277A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 姜爀;金栽豊;安昶昱 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 全振永;刘灿强 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种掩模干燥装置。所述掩模干燥装置包括：腔室；等离子体产生部件，连接于腔室的一侧壁；第一干燥部件，布置在垂直于一侧壁的腔室的下部壁；掩模固定部件，固定掩模；以及旋转部件，连接于掩模固定部件，其中，掩模固定部件能够借由旋转部件而在等离子体产生部件与第一干燥部件之间旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 干燥 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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