[发明专利]一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 202110633143.6 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113337803B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 刘肖楠;陈颖冰;高翔;李军;张磊;田杰;张楠;陶欢;杨林 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人： | 陈敏;吴昊 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法，解决了掩膜板在高温情况下产生形变影响蒸镀效果的问题。所述蒸镀载板包括：温度控制区和设置在所述温度控制区外围，且围绕所述温度控制区设置的温度感应区，所述温度控制区包括多个温度控制单元，每个所述温度控制单元的温度可以分别独立控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀载板 装置 方法 | ||
【主权项】：
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