[发明专利]一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法

说明书

本发明实施例提供了一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法，解决了掩膜板在高温情况下产生形变影响蒸镀效果的问题。所述蒸镀载板包括：温度控制区和设置在所述温度控制区外围，且围绕所述温度控制区设置的温度感应区，所述温度控制区包括多个温度控制单元，每个所述温度控制单元的温度可以分别独立控制。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，具体涉及一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法。

背景技术

在蒸镀工艺中，负责蒸镀有机或金属材料的坩埚具有极高的温度(如：200℃～1500℃)，蒸镀气体蒸镀到金属掩膜板上之后，会将金属掩膜板从原本的室温(如：26℃)加热至一定温度(如：40℃)，在这个过程中，会使得金属掩膜板有一定的热膨胀形变，从而影响蒸镀效果。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种蒸镀载板、蒸镀装置及蒸镀方法，解决了掩膜板在高温情况下产生形变影响蒸镀效果的问题。

本发明一实施例提供的一种包括蒸镀载板，所述蒸镀载板包括：温度控制区和设置在所述温度控制区外围，且围绕所述温度控制区设置的温度感应区，所述温度控制区包括多个温度控制单元，每个所述温度控制单元的温度可以分别独立控制。

在一种实施方式中，多个所述温度控制单元在所述温度控制区呈矩阵排列。

在一种实施方式中，所述温度控制单元横截面形状为正方形、菱形和六边形中的至少一种。

在一种实施方式中，所述温度控制单元包括上层结构，设置在所述上层结构下方的下层结构，以及设置在所述上层结构和所述下层结构之间的隔热层；所述上层结构包括供应管和排出管；所述下层结构包括管线，所述供应管穿过所述隔热层与所述管线的一端相连，所述排出管穿过所述隔热层与所述管线的另一端相连。

在一种实施方式中，每个所述温度控制单元分别连接不同的外部控制装置。

在一种实施方式中，所述管线呈波浪状或螺旋状排布。

在一种实施方式中，所述温度感应区包括多个温度感应传感器。

一种蒸镀装置，包括上述任意一项所述的蒸镀载板。

在一种实施方式中，还包括温度调节模块，所述温度调节模块包括多个子温度调节模块，每个所述子温度调节模块分别与每个所述温度控制单元连接。

一种蒸镀方法，包括：蒸镀载板获取掩膜版不同区域的温度，蒸镀载板获取待蒸镀基板不同区域的温度；基于所述掩膜版不同区域的温度、所述待蒸镀基板不同区域的温度、所述掩膜版膨胀率和所述待蒸镀基板膨胀率得到所述待蒸镀基板不同区域的待补偿温度；基于所述待蒸镀基板不同区域的待补偿温度对所述蒸镀载板进行分区域温度调节，基于所述分区域温度调节后的蒸镀载板实现对所述待蒸镀基板的分区域温度补偿；将所述分区域温度补偿后的待蒸镀基板与所述掩膜版贴合后进行蒸镀。

在一种实施方式中，所述基于所述掩膜版不同区域的温度、所述待蒸镀基板不同区域的温度、所述掩膜版膨胀率和所述待蒸镀基板膨胀率得到所述待蒸镀基板不同区域的待补偿温度通过以下公式得到：

Δt＝a*(ΔT*n₁+L)/n₂；

其中，Δt为待补偿温度，ΔT为掩膜版蒸镀前后的温度差，n₁为掩膜版的膨胀率，L为掩膜版像素位置的偏差值，n₂为待蒸镀基板膨胀率，a为修正系数。

在一种实施方式中，包括使用所述蒸镀载板获取掩模板上不同区域的温度通过所述蒸镀载板的温度感应区实现；使用所述蒸镀载板获取所述待蒸镀基板不同区域的温度通过所述蒸镀载板的温度感应区实现。