[发明专利]一种用于评价工件表面形貌结构的激光散射检测方法在审

专利信息
申请号: 202110631347.6 申请日: 2021-06-07
公开(公告)号: CN113340853A 公开(公告)日: 2021-09-03
发明(设计)人: 殷景飞;徐九华;丁文锋;苏宏华;陈燕;杨长勇;张全利;赵正材 申请(专利权)人: 南京航空航天大学
主分类号: G01N21/49 分类号: G01N21/49;G01N21/21;G01B11/24
代理公司: 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 代理人: 曹翠珍
地址: 210016*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种用于评价工件表面形貌结构的激光散射检测方法,采用线偏振激光散射检测加工表面的背散射光的偏振状态分布,通过改变入射激光与材料表面夹角,得到不同入射角下加工表面背散射光的偏振状态分布,求解不同入射角下材料加工表面纹理结构和形貌特征评价参数高度起伏方差s2和相关长度Sal,通过线性回归法零件加工表面准确的高度起伏方差s2和相关长度Sal值,实现加工表面纹理结构和形貌特征的精确检测与评价。本发明不受加工表面粗糙度、工作距离的限制,通过调整激光束与零件加工表面的角度,根据加工材料表面准确的高度起伏方差和相关长度值,可以更加科学的评价加工表面的纹理结构和形貌特征,具有较高的检测效率和精度。
搜索关键词: 一种 用于 评价 工件 表面 形貌 结构 激光 散射 检测 方法
【主权项】:
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