[发明专利]一种用于评价工件表面形貌结构的激光散射检测方法在审
申请号: | 202110631347.6 | 申请日: | 2021-06-07 |
公开(公告)号: | CN113340853A | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 殷景飞;徐九华;丁文锋;苏宏华;陈燕;杨长勇;张全利;赵正材 | 申请(专利权)人: | 南京航空航天大学 |
主分类号: | G01N21/49 | 分类号: | G01N21/49;G01N21/21;G01B11/24 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 曹翠珍 |
地址: | 210016*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: |
本发明公开了一种用于评价工件表面形貌结构的激光散射检测方法,采用线偏振激光散射检测加工表面的背散射光的偏振状态分布,通过改变入射激光与材料表面夹角,得到不同入射角下加工表面背散射光的偏振状态分布,求解不同入射角下材料加工表面纹理结构和形貌特征评价参数高度起伏方差 |
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搜索关键词: | 一种 用于 评价 工件 表面 形貌 结构 激光 散射 检测 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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