[发明专利]导流装置、单晶炉及导流控制方法有效
申请号: | 202110628717.0 | 申请日: | 2021-06-07 |
公开(公告)号: | CN113249780B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 黄晶晶;苏琮;邹江华;卢亮;苏腾;肖贵云 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/04 | 分类号: | C30B15/04;C30B15/20;C30B29/06 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明实施例涉及太阳能单晶制备技术领域,公开了一种用于单晶炉腔室内的导流装置,包括输送管道和导流筒,输送管道用于向单晶炉腔室内输送保护气体;导流筒用于设置在单晶炉腔室内的坩埚上方、以引导保护气体流动,导流筒具有第一端面和第二端面,以及自第一端面延伸至第二端面的容置通道;输送管道经由容置通道穿过并延伸至导流筒的下沿,输送管道包括至少一个出口,输送管道的至少一个出口设置在导流筒的下沿。本发明实施例提供的导流装置能够降低挥发物进入待拉制晶体溶液的几率,确保单晶体的拉制效果。另外,本发明实施例还公开了一种单晶炉及一种导流控制方法。 | ||
搜索关键词: | 导流 装置 单晶炉 控制 方法 | ||
【主权项】:
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