[发明专利]一种超宽截止的六氟化硫红外滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 202110622694.2 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN113341491B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 侯海港;刘军林;乔冠军;刘桂武;郝俊操;崔智超 | 申请（专利权）人： | 微集电科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/28;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/30;C23C14/26 |
| 代理公司： | 合肥市泽信专利代理事务所(普通合伙) 34144 | 代理人： | 方荣肖 |
| 地址： | 215002 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超宽截止的六氟化硫红外滤光片及其制备方法。本发明采用一种超宽截止膜系，结合干涉截止膜系的宽截止特性和窄带膜系的高透过性，通过多层膜导纳匹配方法，利用匹配膜层叠加干涉截止膜系和窄带膜系，达到超宽截止的目的，制备超宽截止的六氟化硫红外滤光片具有膜系截止区域宽，膜系稳定误差小，且兼具通带高透过的优势特性。具体滤光片基底材料选用单晶Si，折射率n＝3.42881；高折射率材料选用Ge，折射率n＝4.16422；低折射率材料选用ZnS，折射率n＝2.3。本发明提供的10640nm红外滤光片，峰值透过率达92％以上，1000～13000nm范围内的其余光谱全部截止，很好的抑制其他气体的干扰，提高仪器探测精度和效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 截止 六氟化硫 红外 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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