[发明专利]一种栅压调制动态源区pocket隧穿场效应管及其制备方法有效
| 申请号： | 202110615886.0 | 申请日： | 2021-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN113363312B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 韦素芬;李明逵;杨证富;门凯;刘航;杨杰圣 | 申请（专利权）人： | 集美大学 |
| 主分类号： | H01L29/08 | 分类号： | H01L29/08;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/739;H01L21/28;H01L21/331 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陈翠兰 |
| 地址： | 361021 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： |
本发明提供一种栅压调制动态源区pocket隧穿场效应管，结构简单，设计合理，开态电流等级高，能够抑制双极电流产生。其包括沿横向依次设置的源区、体区和漏区，在体区内靠近源区的界面区形成源区pocket区域；体区上下表面分别设置体区氧化层，体区氧化层上下表面分别设置有主栅多晶硅电极，作为栅极连接栅极电压V |
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| 搜索关键词： | 一种 调制 动态 pocket 场效应 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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