[发明专利]平台移动装置有效
| 申请号： | 202110608113.X | 申请日： | 2021-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN113315411B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 左蕾;王振华;黄孝山;许良 | 申请（专利权）人： | 上海隐冠半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H02N2/02 | 分类号： | H02N2/02 |
| 代理公司： | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人： | 陈程;蔡继清 |
| 地址： | 200135 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种平台移动装置。本发明中，平台移动装置包括：底板；基座，设置在底板的上方；至少三个尺蠖电机，用于驱动基座，以带动位于基座上方的平台移动；尺蠖电机设置在底板上，且尺蠖电机中至少三个不共线；各尺蠖电机的输出方向一致；以及，至少三个压电陶瓷致动器，用于驱动平台；压电陶瓷致动器与基座相连，且压电陶瓷致动器中至少三个不共线；各压电陶瓷致动器的输出方向与尺蠖电机的输出方向相同。与现有技术相比，使得可在真空、无磁条件中使用，且满足大行程位移量和微米级、纳米级位移调整。 | ||
| 搜索关键词： | 平台 移动 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海隐冠半导体技术有限公司，未经上海隐冠半导体技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110608113.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
