[发明专利]一种基于光路复用的真空开关真空度检测装置在审
| 申请号： | 202110569878.7 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113340522A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 荣命哲;柯伟;袁欢;王小华;杨爱军;刘定新 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 覃婧婵 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本公开揭示了一种基于光路复用的真空开关真空度检测装置，包括：等离子体产生模块，用于产生脉冲激光，所述脉冲激光沿第一光路传输并诱导真空开关产生等离子体；成像模块，用于捕捉沿第一光路返回且继续沿第二光路传输的等离子体，以获得等离子体图像；真空度检测模块，用于对等离子体图像进行检测，以获得真空开关的真空度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 光路复用 真空开关 真空 检测 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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