[发明专利]一种基于光路复用的真空开关真空度检测装置

权利要求书

1.一种基于光路复用的真空开关真空度检测装置，包括：

等离子体产生模块，用于产生脉冲激光，所述脉冲激光沿第一光路传输并诱导真空开关产生等离子体；

成像模块，用于捕捉沿第一光路返回且继续沿第二光路传输的等离子体，以获得等离子体图像；

真空度检测模块，用于对等离子体图像进行检测，以获得真空开关的真空度信息。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，优选的，所述等离子体产生模块包括位于第一光路上依次设置的脉冲激光器、二向色镜和第一聚焦透镜。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述成像模块包括位于第二光路上依次设置的平面反射透镜、第二聚焦透镜和ICCD相机。

4.根据权利要求1所述的装置，其中，所述真空度检测模块包括：

控制器，用于对等离子体产生模块和成像模块进行时序控制；

图像检测单元，通过对等离子体图像进行检测，以获得真空开关的真空度信息。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述图像检测单元包括：

等离子体强度积分子单元，用于获取等离子体图像的强度积分值；

等离子体轮廓提取子单元，用于提取等离子体的轮廓并计算轮廓面积；

真空度计算子单元，用于根据等离子体的强度积分值和等离子体的轮廓面积计算真空开关的真空度。

6.根据权利要求5所述的装置，其中，所述等离子体图像的强度积分值是通过将去除背景噪声后的等离子体图像的强度值相加获得的。

7.根据权利要求5所述的装置，其中，所述等离子体的轮廓是通过将去除背景噪声后的等离子体图像中强度值不为零的点进行拟合提取的。

8.根据权利要求5所述的装置，其中，所述等离子体图像的轮廓面积通过以下方式获得：将所提取的等离子体的轮廓内点数相加得到轮廓的像素点数，将轮廓的像素点数乘以每个像素点的面积即为等离子体的轮廓面积。

9.根据权利要求5所述的装置，其中，所述真空开关的真空度通过以下方式获得：根据已知的等离子体强度积分值、轮廓面积与真空度的关系曲线，将计算得到的等离子体强度积分值和轮廓面积带入该关系曲线。

10.一种基于光路复用的真空开关真空度检测方法，包括如下步骤：

S100：脉冲激光沿第一光路传输并诱导真空开关产生等离子体；

S200：等离子体沿第一光路返回并继续沿第二光路传输后成像；

S300：通过对等离子体图像进行检测，以获得真空开关的真空度信息。