[发明专利]一种宽光谱椭偏光学系统在审
| 申请号： | 202110564091.1 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113358579A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 李伟奇;杨长英;马骏;杨康;张传维 | 申请（专利权）人： | 上海精测半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 严超 |
| 地址： | 201700 上海市青浦区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种宽光谱椭偏光学系统，包括起偏组件和检偏组件；所述起偏组件包括光源、离轴椭圆形反光镜、视场光阑、离轴抛物镜、第一孔径光阑、起偏器、第一相位延迟器、汇聚透镜；所述检偏组件包括准直透镜、第二孔径光阑、第二相位延迟器、检偏器、耦合透镜、光谱仪；所述起偏组件与所述检偏组件工作时沿样品台的法线方向对称放置，且起偏组件与检偏组件间的光路夹角θ为50°＜θ＜180°。本发明利用离轴椭圆形反射镜在不引入色焦移的情况下将193‑1700nm宽光谱光源汇入视场光阑，全光谱能量利用率一致。通过视场光阑控制样品面光斑尺寸。采用离轴抛物镜对通过视场光阑的光束进行了193‑1700nm全波段无色差准直，全光谱能量准直度一致。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光谱 偏光 系统 | ||
【主权项】：
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