[发明专利]一种宽光谱椭偏光学系统

权利要求书

1.一种宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，包括起偏组件和检偏组件；

所述起偏组件包括光源、离轴椭圆形反光镜、视场光阑、离轴抛物镜、第一孔径光阑、起偏器、第一相位延迟器、汇聚透镜；

所述检偏组件包括准直透镜、第二孔径光阑、第二相位延迟器、检偏器、耦合透镜、光谱仪；

所述起偏组件与所述检偏组件工作时沿样品台的法线方向对称放置，且起偏组件与检偏组件间的光路夹角θ为50°＜θ＜180°。

2.根据权利要求1所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述离轴椭圆形反光镜放大倍率至少包括0.5～2.5倍，用于将光源能量耦合进视场光阑。

3.根据权利要求1或2所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述离轴抛物镜焦距为f1，且30mm＜f1＜150mm。

4.根据权利要求3所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述汇聚透镜焦距为f2，0.15f1＜f2＜1.5f1；所述准直透镜焦距为f3，0.15f1＜f3＜1.5f1，耦合透镜角距为f4，0.15f1＜f4＜1.5f1。

5.根据权利要求4所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述汇聚透镜、准直透镜均为无镀膜、无双折射、无应力三胶合消色差透镜。

6.根据权利要求5所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述三胶合消色差透镜的第一片透镜材料为紫外熔融石英、第二片透镜材料为氟化钙、第三片透镜材料为紫外熔融石英，其胶合工艺为深化光胶。

7.根据权利要求3所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述第一相位延迟器和第二相位延迟器在测量过程中以相同或不同的速度沿光轴旋转。

8.根据权利要求3所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述汇聚透镜、准直透镜均为无双折射玻璃材料并采用无应力安装方式。

9.根据权利要求3所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述视场光阑为椭圆形小孔，所述椭圆形小孔的长短轴比为e，1＜e＜5。

10.根据权利要求3所述的宽光谱椭偏光学系统，其特征在于，所述第一孔径光阑和第二孔径光阑均为圆形通孔，通光口径为d，2mm＜d＜10mm。