[发明专利]一种掺铈钇铝石榴石闪烁晶体表面蛾眼式微结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202110557849.9 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113337894A | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 孔钒宇;滕召权;邵建达;晋云霞;曹红超;张益彬;王勇禄 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C30B29/60 | 分类号： | C30B29/60;C30B29/28;C30B33/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种在掺铈钇铝石榴石闪烁晶体表面使用反应离子束刻蚀的具有二维周期阵列的蛾眼式微结构，微结构参数包括周期、深度以及占空比，由闪烁体的中心发射波长决定。本发明的表面蛾眼式微结构能够有效提升掺铈钇铝石榴石晶体的光提取效率，增强闪烁体的光输出，本发明涉及工艺成熟，在辐射探测领域中具有重要应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺铈钇铝 石榴石 闪烁 晶体 表面 式微 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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