[发明专利]一种制备图案化氧化锌纳米线阵列的方法在审
| 申请号： | 202110555612.7 | 申请日： | 2021-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN113415820A | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 许晓斌;方明赫;刘小诗 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/35;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 吴文滨 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制备图案化氧化锌纳米线阵列的方法，包括以下步骤：1)在衬底表面制备晶种层；2)在晶种层表面涂覆光刻胶；3)将含有图案的掩膜板置于光刻胶层上，之后在紫外灯下曝光；4)移去掩膜板并用显影液对光刻胶层中未固化的光刻胶进行冲洗；5)将光刻后材料浸入氧化锌纳米线的生长前驱液中，进行氧化锌纳米线阵列的水热生长；6)除去光刻后材料表面剩余的光刻胶，即在衬底表面得到图案化氧化锌纳米线阵列。与现有技术相比，本发明利用光刻胶对衬底表面晶种层的选择性覆盖，实现了氧化锌纳米线阵列的图案化制备，该方法加工方便，成本低廉，可实现氧化锌纳米线阵列的大面积图案化制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 图案 氧化锌 纳米 阵列 方法 | ||
【主权项】：
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