[发明专利]用于半导体工艺设备的安装定位机构

摘要

本发明提供一种用于半导体工艺设备的安装定位机构，半导体工艺设备包括工艺腔室、旋转升降装置、机械手和至少三个顶针，安装定位机构包括限位结构和定位结构，限位结构能够与工艺腔室的腔室支架可拆卸的连接；定位结构设置在限位结构上，用于在限位结构与腔室支架连接时，通过对旋转升降装置的多个顶针支架在腔室支架的开口中的位置进行定位，以对旋转升降装置的安装位置进行定位，使进入工艺腔室内的机械手能够从相邻的两个顶针之间穿过。本发明提供的用于半导体工艺设备的安装定位机构，能够提高旋转升降装置安装的定位精度，并提高定位的便捷性，从而提高顶针安装的定位精度，避免顶针与机械手发生干涉，提高半导体设备的使用稳定性。