[发明专利]一种线轮廓成像装置的解调方法及成像装置有效
| 申请号： | 202110535064.1 | 申请日： | 2021-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN113251945B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王毅;施家正;彭思龙;汪雪林;顾庆毅;赵效楠;王一洁;郭晓锋 | 申请（专利权）人： | 东北大学秦皇岛分校;苏州中科行智智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 尉月丽 |
| 地址： | 066004 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种线轮廓成像装置的解调方法，通过获取被测物品上的干涉光谱并计算幅度谱获取极大值点的横坐标序数，计算干涉光谱的分光谱的相位，进而计算线轮廓分布并进行修正，非卷绕范围较大，抗噪能力较强，容易判断去卷绕是否出错。本发明还提供了一种线轮廓成像装置，能够防止被测物品对成像造成遮挡，使用相对较窄的低相干光源产生线形光，实现毫米数量级的大范围、纳米级的高分辨率测量及成像，实施成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轮廓 成像 装置 解调 方法 | ||
【主权项】：
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