[发明专利]一种纳米多层结构过渡金属氮化物涂层及其制备方法和应用在审
申请号: | 202110533732.7 | 申请日: | 2021-05-17 |
公开(公告)号: | CN113416926A | 公开(公告)日: | 2021-09-21 |
发明(设计)人: | 张权;刘国跃;贾寓真;欧阳志勇;薛寒 | 申请(专利权)人: | 湖南泰嘉新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/32;B23C5/00 |
代理公司: | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人: | 马强;聂午阳 |
地址: | 410200 湖南省长*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明涉及纳米多层结构过渡金属氮化物涂层及其制备方法和应用。一种纳米多层结构过渡金属氮化物涂层,包括沉积于滚铣刀基体表面的氮化物结合层,所述氮化物结合层的表面沉积纳米多层氮化物功能层;所述纳米多层氮化物功能层包括TiAlN调制层,还包括Cr(Al)N调制层,由TiAlN调制层、Cr(Al)N调制层交替堆叠沉积制得。本发明通过涂层材料微结构设计使纳米多层结构过渡金属氮化物涂层的不同调制层形成共格或者半共格界面,涂层硬度、韧性、膜基结合力、耐磨减摩与高温性能均得到提升,主要用于双金属带锯条的铣齿加工领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 多层 结构 过渡 金属 氮化物 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】:
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