[发明专利]柔性压力传感器及其介电层、介电层的制备方法有效
| 申请号： | 202110496994.0 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113218543B | 公开（公告）日： | 2023-04-28 |
| 发明（设计）人： | 潘革波;聂立璠;张龙;张少辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;武岑飞 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 提供了一种用于柔性压力传感器的介电层的制备方法，其包括：利用牺牲材料和聚合物基体材料形成固化薄膜；将所述固化薄膜置于牺牲材料去除溶液中以去除所述牺牲材料，从而形成具有三维多孔结构的介电层。还提供了一种由该制备方法制备形成的介电层以及具有该介电层的柔性压力传感器。本发明在介电层的制备过程中通过利用牺牲材料获得具有三维多孔结构的介电层，三维多孔的结构可以使介电层具有更加高的孔隙率，在应力作用下更容易形变，从而具有优异的弹性性能。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 压力传感器 及其 介电层 制备 方法 | ||
【主权项】：
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