[发明专利]一种智能蒸发镀膜机有效
| 申请号： | 202110495572.1 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN113174567B | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 李成林;郝明;杜雪峰 | 申请（专利权）人： | 泊肃叶科技（沈阳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110142 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种智能蒸发镀膜机，主要包括镀膜室、蒸发源、中央智能控制模块和真空系统。蒸发源包括蒸发舟、温度传感阵列和柔性边界驱动系统；蒸发舟包括边框和底部，边框包括固定边框和柔性边框；柔性边框设置在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上，固定边框设置在蒸发舟上其余的三侧；温度传感阵列主要由多个温度传感器组成，温度传感器分为多列，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部。在蒸发镀膜过程中，中央智能控制模块可控制柔性边界驱动系统对蒸发舟的柔性边框的位移和形变进行闭环地在线调控，通过实时智能控制蒸发区域的边界，使基片上沉积的膜层呈现所需的膜厚分布状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 智能 蒸发 镀膜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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