[发明专利]一种智能蒸发镀膜机

权利要求书

1.一种智能蒸发镀膜机，主要包括镀膜室、蒸发源、中央智能控制模块和真空系统；蒸发源包括蒸发舟、温度传感阵列和柔性边界驱动系统；蒸发舟包括边框和底部，边框包括固定边框和柔性边框；柔性边框设置在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上，固定边框设置在蒸发舟上其余的三侧；温度传感阵列主要由多个温度传感器组成，温度传感器分为多列，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部；在蒸发镀膜过程中，中央智能控制模块可控制柔性边界驱动系统对蒸发舟的柔性边框的位移和形变进行闭环地在线调控，通过实时智能控制蒸发区域的边界，使基片上沉积的膜层呈现所需的膜厚分布状态，并在整个蒸发镀膜过程中保持该膜厚分布状态的稳定；该智能蒸发镀膜机中的基片为连续式传送模式，且在蒸发源和基片之间不设置修正挡板或屏蔽板；

蒸发区域的边界由柔性边框和固定边框构成；蒸发舟的边框还包括支撑边框，支撑边框位于蒸发区域边界以外，设置在柔性边框的外侧；柔性边界驱动系统包括多组驱动单元；多组驱动单元横向均布在蒸发舟的支撑边框上，每组驱动单元均与柔性边框的不同分段相连接；驱动单元为3组以上；蒸发舟的固定边框上设置有振动匀料机构，使蒸发材料在蒸发区域内均匀分布；

在蒸发镀膜过程中，温度传感阵列实时获得蒸发舟底部的温度阵列信号，并将温度阵列信号传输给中央智能控制模块；同时，柔性边界驱动系统将各分段柔性边框与驱动单元连接部位的位置信号也传输给中央智能控制模块；中央智能控制模块内预设有膜厚的目标分布数据和蒸发材料数据库；中央智能控制模块根据获得的温度阵列信号、各分段柔性边框的位置信号以及蒸发材料的物性参数进行数值计算模拟，获得在镀膜幅宽方向上沉积膜层的膜厚动态分布数据，并根据膜厚动态分布数据与目标分布数据之间的差异计算出各分段柔性边框的动态位置修正量；然后中央智能控制模块将基于该动态位置修正量的驱动指令发送给柔性边界驱动系统，控制各驱动单元驱动各分段柔性边框向内或向外移动，使柔性边框在整体上产生不同程度的内凹或外凸的形变及位移，从而实现蒸发区域边界的智能在线可调；

当镀膜幅宽方向上某部位的膜厚动态分布数据高于目标分布数据时，中央智能控制模块会将驱动指令发送给柔性边界驱动系统，控制驱动单元驱动该部位对应的分段柔性边框向蒸发区域内移动，将该部分的蒸发区域有效面积调整缩小，从而降低了该部位的膜层沉积速率，使该部位的膜厚动态分布数据趋近于目标分布数据；

当镀膜幅宽方向上某部位的膜厚动态分布数据低于目标分布数据时，中央智能控制模块会将驱动指令发送给柔性边界驱动系统，控制驱动单元驱动该部位对应的分段柔性边框向蒸发区域外移动，将该部分的蒸发区域有效面积调整增大，从而提高了该部位的膜层沉积速率，使该部位的膜厚动态分布数据趋近于目标分布数据。

2.根据权利要求1所述的智能蒸发镀膜机，其特征在于：温度传感器为6个以上，温度传感器排布的列数与驱动单元的组数一致，且各列的位置与各组驱动单元所处位置对应；每列温度传感器包括2个以上的温度传感器。

3.根据权利要求1所述的智能蒸发镀膜机，其特征在于：柔性边框与驱动单元连接的部位在驱动单元的驱动下可向内或向外移动，使柔性边框在整体上产生不同程度的内凹或外凸的形变及位移；移动的精度为0.05-0.5mm。

4.根据权利要求1所述的智能蒸发镀膜机，其特征在于：每组驱动单元包括1个以上的微型伺服电机和直线推杆或者1个以上的微型直线电机。

5.根据权利要求1所述的智能蒸发镀膜机，其特征在于：该智能蒸发镀膜机为卷对卷式镀膜设备，所述的基片为柔性基膜。