[发明专利]一种带磁力耦合PIN的增粘单元在审
| 申请号： | 202110493685.8 | 申请日： | 2021-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN115308998A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 张逢洋;胡乃涛;张怀东;符平平 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 白振宇 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于晶圆制造设备领域，具体地说是一种带磁力耦合PIN的增粘单元。包括盘盖、盘体与贯穿盘体的PIN组件，还包括设有外磁环的外磁环固定座以及分隔管，且PIN组件上设有内磁环。设有外磁环的外磁环固定座由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有内磁环的PIN组件上下移动。本发明通过设有外磁环的外磁环固定座、设有内磁环的PIN组件以及分隔管的配合设置，起到保证盘盖和盘体构成的工艺腔体的不与外界相通的密封作用，且密封效果不会受到PIN组件上下运动的影响而产生磨损变差，延长了增粘单元的维护时间间隔和使用寿命，运行可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁力 耦合 pin 单元 | ||
【主权项】：
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