[发明专利]一种带磁力耦合PIN的增粘单元

权利要求书

1.一种带磁力耦合PIN的增粘单元，包括盘盖(001)、盘体(002)与贯穿盘体(002)的PIN组件(003)，其特征在于：所述PIN组件(003)的外部套设有密封固定在盘体(002)上的分隔管(1)，所述PIN组件(003)的上端为与晶圆的接触端、始终位于所述分隔管(1)内的下端沿轴向设有若干个内磁环(2)，所有所述内磁环(2)的磁极设置方向相同，所述内磁环(2)之间设有套设在所述PIN组件(003)上、用于分隔所述内磁环(2)的内磁环隔环(3)，所述分隔管(1)的内腔与盘盖(001)和盘体(002)构成的工艺腔体相连通，所述分隔管(1)远离盘体(002)的开口为密封结构；

所述分隔管(1)的外部套设有外磁环固定座(4)，所述外磁环固定座(4)的内壁上沿轴向设有若干个外磁环(5)，所有所述外磁环(5)的磁极设置方向相同，且所述外磁环(5)的磁极设置方向与所述内磁环(2)的磁极设置方向相反、并能够相互吸引，相邻所述外磁环(5)之间设有起到分隔作用的外磁环隔环(6)；

设有所述外磁环(5)的所述外磁环固定座(4)由动力源驱动上下移动，同时通过磁力耦合作用带动设有所述内磁环(2)的PIN组件(003)上下移动。

2.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述外磁环固定座(4)与气缸连接板(7)固定连接，所述气缸连接板(7)与外接气缸的活塞杆连接，所述外磁环固定座(4)由外接气缸带动。

3.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述分隔管(1)远离盘体(002)的开口通过密封堵(8)和密封圈A(9)进行密封。

4.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述PIN组件(003)伸入至所述分隔管(1)内部的部分还安装有采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环A(10)，所述支撑环A(10)的内表面与所述PIN组件(003)的外表面相抵接，所述支撑环A(10)的外表面与所述分隔管(1)的内壁相抵接。

5.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述外磁环固定座(4)的内壁上还安装有采用聚四氟乙烯材料制成的支撑环B(11)，所述支撑环B(11)的内表面与所述分隔管(1)的外壁相抵接，所述支撑环B(11)的外表面与所述外磁环固定座(4)的内壁相抵接。

6.根据权利要求1所述的一种带磁力耦合PIN的增粘单元，其特征在于：所述分隔管(1)上端与盘体(002)的连接处设有密封圈B(12)。