[发明专利]一种光罩曝光显影工艺在审
| 申请号： | 202110488523.5 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN113126456A | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请（专利权）人： | 艾斯尔光电（南通）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新爱 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光罩曝光显影工艺，包括以下步骤：A、首先将光罩置于光罩载台上，并通过负压将光罩吸附固定于光罩载台上；B、将光罩载台通过多个气缸顶紧；C、将曝光系统的光源通过聚光透镜照射至光罩上且光源完全遮盖光罩，对光罩进行曝光；D、将曝光后光罩放置于显影液中进行显影；E、将显影后的光罩倾斜放置于光罩放置架上，并冲洗光罩，最后进行干燥，本发明采用的工艺操作简单，能够实现对光罩的均匀曝光和均匀显影，提高了光罩加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 显影 工艺 | ||
【主权项】：
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