[发明专利]一种光罩曝光显影工艺在审
申请号: | 202110488523.5 | 申请日: | 2021-05-06 |
公开(公告)号: | CN113126456A | 公开(公告)日: | 2021-07-16 |
发明(设计)人: | 郑永庆;张衡;陈宏渊 | 申请(专利权)人: | 艾斯尔光电(南通)有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32;G03F7/30;G03F7/20 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 王新爱 |
地址: | 226000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种光罩曝光显影工艺,包括以下步骤:A、首先将光罩置于光罩载台上,并通过负压将光罩吸附固定于光罩载台上;B、将光罩载台通过多个气缸顶紧;C、将曝光系统的光源通过聚光透镜照射至光罩上且光源完全遮盖光罩,对光罩进行曝光;D、将曝光后光罩放置于显影液中进行显影;E、将显影后的光罩倾斜放置于光罩放置架上,并冲洗光罩,最后进行干燥,本发明采用的工艺操作简单,能够实现对光罩的均匀曝光和均匀显影,提高了光罩加工质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 显影 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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