[发明专利]MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202110487822.7 | 申请日： | 2021-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN115314818A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 陈燕鑫;柏杨;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市广东深圳南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出一种MEMS麦克风，包括形成有背腔的基底和设置在所述基底上与基底相连的电容系统，所述电容系统包括振膜以及与所述振膜间隔设置的背板，所述背板端部经背板连接部与所述振膜端部固定连接；本发明的MEMS麦克风还包括支撑柱，所述支撑柱沿所述背板连接部的内侧表面设置在所述背板与所述振膜之间；本发明利用沿背板连接部的内侧表面在背板与振膜之间设置支撑柱的方式，有效提升了背板结构在跌落、吹气等大机械冲击或大气流作用下的可靠性，避免背板结构的台阶连接处或者过渡层边缘处出现断裂故障。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
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