[发明专利]柔性电容器装置及其制备方法有效
| 申请号： | 202110487710.1 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113161154B | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 沈国震;刘伟佳;陈娣;李腊;胡楚乔 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H01G11/10 | 分类号： | H01G11/10;H01G11/26;H01G11/30;H01G11/32;H01G11/84;H01G11/86;H01G11/82;H01G11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种柔性电容器装置及其制备方法，柔性电容器装置包括：柔性衬底与设置在所述柔性衬底上电连接的多个电容器；每个所述电容器包括：导电基底，设置在柔性衬底上，用于导通电路；所述导电基底被电极沟槽分为第一部分基底和设置在所述第一部分基底外侧的第二部分基底；以及设置在导电基底上的电容单元，包括：第一电极，设置在所述第一部分基底上；以及第二电极，设置在所述第二部分基底上；所述电极沟槽适用于为所述第一电极与所述第二电极之间提供绝缘介质；所述导电基底以及所述第一电极均由包括二维钛化碳的材料制成；所述第二电极由包括锌的材料制成。本发明中电容装置的电容储量高，且机械强度高，可通过对电容器排列的设计实现多样化图案。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 电容器 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110487710.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
