[发明专利]柔性电容器装置及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110487710.1 申请日: 2021-04-30
公开(公告)号: CN113161154B 公开(公告)日: 2022-09-20
发明(设计)人: 沈国震;刘伟佳;陈娣;李腊;胡楚乔 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: H01G11/10 分类号: H01G11/10;H01G11/26;H01G11/30;H01G11/32;H01G11/84;H01G11/86;H01G11/82;H01G11/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 吴梦圆
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 柔性 电容器 装置 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种柔性电容器装置,其特征在于,包括:柔性衬底(100)与设置在所述柔性衬底(100)上电连接的多个电容器(200);

每个所述电容器(200)包括:

导电基底(21),设置在柔性衬底(100)上,适用于导通电路;其中,所述导电基底(21)被电极沟槽(4)分为第一部分基底(211)和设置在所述第一部分基底(211)外侧的第二部分基底(212);以及

设置在导电基底(21)上的电容单元(22),包括:

第一电极(221),设置在所述第一部分基底(211)上;以及

第二电极(222),设置在所述第二部分基底(212)上;所述电极沟槽(4)适用于为所述第一电极(221)与所述第二电极(222)之间提供绝缘介质;

其中,所述导电基底(21)以及所述第一电极(221)均由包括二维钛化碳的材料制成,所述导电基底(21)由大片二维钛化碳的材料制成,所述第一电极(221)由小片二维钛化碳的材料制成;所述第二电极(222)由包括锌的材料制成,所述第一电极(221)的上表面与所述第二部分基底(212)的上表面位于同一表面;

所述柔性电容器装置,还包括:

设置在所述柔性衬底(100)上,且覆盖所述电容器(200)的保护层;

所述保护层由包括凝胶的材料制成,并用聚二甲基硅氧烷膜密封;

其中,所述凝胶包括聚乙烯醇树脂和三氟甲烷磺酸锌。

2.根据权利要求1所述的柔性电容器装置,其特征在于,

所述多个电容器(200)包括至少两个依次串联的电容器(200)和/或至少两个并联的电容器(200)。

3.根据权利要求1所述的柔性电容器装置,其特征在于,所述电容器(200)还包括多个基底延伸片(23);

所述基底延伸片(23)与所述导电基底(21)连接,适用于形成所述电容器(200)的电连接通路,并适用于与外部电源连接。

4.根据权利要求3所述的柔性电容器装置,其特征在于,

所述第二部分基底(212)的形状包括设有缺口的环形;所述基底延伸片(23)贯穿所述环形的缺口与所述第一部分基底(211)连接,并与所述第二部分基底(212)电绝缘。

5.根据权利要求1所述的柔性电容器装置,其特征在于,

所述柔性衬底(100)由包括聚酰亚胺或涤纶树脂的材料制成;

所述电极沟槽(4)的宽度包括50至150 μm。

6.一种柔性电容器装置的制备方法,其特征在于,包括:

S1:在柔性衬底(100)上制备包括第一部分基底(211)与第二部分基底(212)的导电基底(21)、第一电极(221)以及与导电基底(21)连接的基底延伸片(23);

S2:在步骤S1中的第二部分基底(212)上制备第二电极(222),得到电连接的多个电容器(200),完成所述柔性电容器装置的制备;

其中,所述导电基底(21)以及所述第一电极(221)均由包括二维钛化碳的材料制成,所述导电基底(21)由大片二维钛化碳的材料制成,所述第一电极(221)由小片二维钛化碳的材料制成;所述第二电极(222)由包括锌的材料制成,所述第一电极(221)的上表面与所述第二部分基底(212)的上表面位于同一表面;

S3:在所述柔性衬底(100)以及所述多个电容器(200)上制备保护层;

所述保护层由包括凝胶的材料制成,并用聚二甲基硅氧烷膜密封;

其中,所述凝胶包括聚乙烯醇树脂以及三氟甲烷磺酸锌。

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