[发明专利]基于导电氧化物DBR的氮化物垂直腔面发射激光器的制作方法在审
| 申请号： | 202110485561.5 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113206446A | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 龙浩;陈衍晖;张保平;梅洋;许荣彬 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187;H01S5/042 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 吴廷正 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了基于导电氧化物DBR的氮化物垂直腔面发射激光器的制作方法，激光器包括依序层叠设置的支撑基板、第一反射镜、电流限制层、p型层、有源区、n型层、第二反射镜以及n电极；其中，第一反射镜、第二反射镜分别由p型、n型导电性氧化物DBR构成；本发明使用具有导电性的氧化物材料制作分布式布拉格反射镜，作为氮化物垂直腔面发射激光器的反射镜，具有优良的导电性能，能够同时作为激光器电极使用，同时，本发明激光器结构中不需要使用透明电流扩展层以及腔内接触电极结构，从而显著地简化了激光器结构以及制备工艺；本方案制作方法与标准半导体制备工艺兼容，可以满足大规模光电器件制备与集成的需要，有着广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 导电 氧化物 dbr 氮化物 垂直 发射 激光器 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于厦门大学，未经厦门大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110485561.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
