[发明专利]一种电容传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 202110485091.2 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN112985471B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李恭谨;汪鹏辉;秦培 | 申请（专利权）人： | 深圳市汇顶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/24 | 分类号： | G01D5/24;G01D11/00;G01D11/24;C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人： | 成丽杰 |
| 地址： | 518045 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及传感器领域，尤其涉及一种电容传感器及其制作方法。一种电容传感器，其特征在于，包括多个并排设置的像素单元，像素单元包括硅衬底、结构层和钝化层；结构层设置于硅衬底的上表面，结构层包括顶层金属层和介质层；介质层设置于顶层金属层的下方，钝化层设置于结构层的上表面；顶层金属层设置一个或多个通孔，通孔为圆形；钝化层设置一个或多个凹槽，凹槽的对称轴与通孔的对称轴重合。通过在像素单元的顶层金属层设置圆形通孔，改善了由于湿热环境导致的芯片失效的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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