[发明专利]一种防止分子泵前级泵反流的自动起闭式压差阀

摘要

本发明公开了一种防止分子泵前级泵气体反流的自动启闭式压差阀，包括入口法兰、出口法兰、启闭模块、密封圈、阀芯活动腔、旁通管道、背压腔、密封波纹管、限位块，所述的入口法兰用于连接前级泵的吸气口，所述出口法兰用于连接分子泵的排气口；所述的阀芯活动腔中活动设置有一个启闭模块，所述的启闭模块为一中间开有通孔的可上下移动的运动模块；所述运动模块另一侧与背压腔连接，所述背压腔通过旁通管道连接到入口法兰，所述的启闭模块的中间通孔能够在运动模块处于预定位置时连通入口法兰和出口法兰；当背压腔内的气压较高时，此时该启闭模块就会向上运动，因此启闭模块内部的通孔与所述的入口法兰和出口法兰就会断开，因此实现了阀门的自动关闭。