[发明专利]一种防止分子泵前级泵反流的自动起闭式压差阀

权利要求书

1.一种防止分子泵前级泵气体反流的自动启闭式压差阀，其特征在于：包括入口法兰、出口法兰、启闭模块、密封圈、阀芯活动腔、旁通管道、背压腔、密封波纹管、限位块，

其中，阀芯活动腔的一侧连接有入口法兰，另一侧连接有出口法兰，所述的入口法兰用于连接前级泵的吸气口，所述出口法兰用于连接分子泵的排气口；

所述的阀芯活动腔中活动设置有一个启闭模块，所述的启闭模块为一中间开有通孔的可上下移动的运动模块，该模块的上下两端均安装有密封圈，用于启闭模块与阀芯活动腔的密封，该运动模块的一侧与所述的密封波纹管连接，起到阀门密封的效果所述的密封波纹管同时给所述的启闭模块提供弹力；所述运动模块另一侧与背压腔连接，所述背压腔通过旁通管道连接到入口法兰，所述的启闭模块的中间通孔能够在运动模块处于预定位置时连通入口法兰和出口法兰。

2.根据权利要求1所述的一种防止分子泵前级泵气体反流的自动启闭式压差阀，其特征在于：所述的启闭模块能够根据背压腔内的气压大小上下移动，当背压腔内的气压低于300Pa时，所述的启闭模块在气压差的作用下向下运动，启闭模块内部的通孔与所述的入口法兰和出口法兰连通，因而实现阀门的开启，当背压腔内的气压高于300Pa时，所述的启闭模块所受的压差就会减小，此时该启闭模块就会在密封波纹管的弹力作用下向上运动，因此启闭模块内部的通孔与所述的入口法兰和出口法兰就会断开，此时阀门就处于关闭状态，因此实现了阀门的自动启闭。

3.根据权利要求1所述的一种防止分子泵前级泵气体反流的自动启闭式压差阀，其特征在于：所述的阀芯活动腔中运动模块的下侧安装有限位块，用于对运动模块向下运动的位置进行限制。

4.根据权利要求1所述的一种防止分子泵前级泵气体反流的自动启闭式压差阀，其特征在于：所述的密封波纹管的劲度系数及长度为定制结构，用于给所述的启闭模块提供精确的回复力，当所述的背压腔体内的气压等于第一压力时，阀门正好处于关闭状态，当背压腔体内的气压小于第一压力时，启闭模块在向下压力的作用下向下运动，因此阀门逐渐开启，随着背压腔体内的气压逐渐降低，启闭模块受到向下的压力逐渐增大，阀门开启的幅度逐渐增大，直到启闭模块达到所述的限位块，阀门实现完全开启。