[发明专利]可变焦距半导体表面微透镜及其制作方法、激光器有效
申请号: | 202110482755.X | 申请日: | 2021-04-30 |
公开(公告)号: | CN113189684B | 公开(公告)日: | 2023-03-14 |
发明(设计)人: | 彭俊彦;翁玮呈;刘嵩;梁栋 | 申请(专利权)人: | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
主分类号: | G02B3/00 | 分类号: | G02B3/00;H01S5/02253 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 213000 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明实施例公开了一种可变焦距半导体表面微透镜及其制作方法、激光器。可变焦距半导体表面微透镜包括:衬底;透镜单元,位于衬底的一侧;透镜单元包括微透镜和变焦距层,变焦距层位于微透镜远离衬底的一侧且覆盖微透镜的出光面,变焦距层用于调节透镜单元的折射率;其中,透镜单元的折射率为微透镜的折射率与变焦距层的折射率之差。通过本实施例的技术方案,实现了表面微透镜的焦距可变,即实现了微透镜的不同焦距,简单实用,避免了在实现长焦距微透镜时对高精度的表面微透镜蚀刻工艺的依赖,成本低廉,同时保证了整体的产品良率。 | ||
搜索关键词: | 可变 焦距 半导体 表面 透镜 及其 制作方法 激光器 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州纵慧芯光半导体科技有限公司,未经常州纵慧芯光半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110482755.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。