[发明专利]可变焦距半导体表面微透镜及其制作方法、激光器

权利要求书

1.一种可变焦距半导体表面微透镜，其特征在于，包括：

衬底；

透镜单元，位于所述衬底的一侧；所述透镜单元包括微透镜和变焦距层，所述变焦距层位于所述微透镜远离所述衬底的一侧，且覆盖所述微透镜的出光面；

所述变焦距层用于调节所述透镜单元中所述微透镜与所述变焦距层的折射率之差，以调节所述微透镜的焦距；其中，所述衬底与所述微透镜一体设置；

所述透镜单元的数量为至少两个；至少两个所述透镜单元对应的所述变焦距层的折射率不相同；

至少一个所述透镜单元构成一个透镜单元组，所述透镜单元组的变焦距层的材料相同；

将所述衬底划分为多个区域，每个区域内设置有至少一个所述透镜单元，各区域内所设置的所述透镜单元的数量相同或者不相同；不同区域内所设置的所述透镜单元中，所述微透镜的出光面所覆盖的所述变焦距层的折射率不同。

2.根据权利要求1所述的可变焦距半导体表面微透镜，其特征在于，所述变焦距层的材料包括聚合物材料、光敏材料以及液晶材料中的至少一种；

所述聚合物材料、所述光敏材料以及所述液晶材料的折射率均小于所述微透镜的材料的折射率。

3.根据权利要求2所述的可变焦距半导体表面微透镜，其特征在于，所述变焦距层的材料包括苯并环丁烯和聚酰亚胺中的至少一种。

4.一种激光器，其特征在于，包括发光单元和如权利要求1-3任一项所述的可变焦距半导体表面微透镜；

所述发光单元位于所述衬底远离所述透镜单元的一侧。

5.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，还包括：

挡墙；所述挡墙和所述透镜单元位于同层，所述挡墙围绕所述透镜单元；所述挡墙的高度小于或者等于所述透镜单元的高度。

6.根据权利要求4所述的激光器，其特征在于，还包括：

封装层；所述封装层位于所述透镜单元远离所述衬底的一侧，且覆盖所述透镜单元。

7.一种可变焦距半导体表面微透镜制作方法，其特征在于，包括：

提供衬底；

在所述衬底的一侧形成微透镜；

在所述微透镜远离所述衬底的一侧形成变焦距层，所述变焦距层覆盖所述微透镜的出光面；

其中，所述变焦距层与所述微透镜构成透镜单元，所述变焦距层用于调节所述透镜单元中所述微透镜与所述变焦距层的折射率之差，以调节所述微透镜的焦距；所述衬底与所述微透镜一体设置；

所述透镜单元的数量为至少两个；至少两个所述透镜单元对应的所述变焦距层的折射率不相同；

至少一个所述透镜单元构成一个透镜单元组，所述透镜单元组的变焦距层的材料相同；

将所述衬底划分为多个区域，每个区域内设置有至少一个所述透镜单元，各区域内所设置的所述透镜单元的数量相同或者不相同；不同区域内所设置的所述透镜单元中，所述微透镜的出光面所覆盖的所述变焦距层的折射率不同。

8.根据权利要求7所述的可变焦距半导体表面微透镜制作方法，其特征在于，在所述衬底的一侧形成微透镜包括：

在所述衬底的一侧定义制作区域；

在所述制作区域对所述衬底进行蚀刻，以形成所述微透镜和隔墙，所述隔墙和所述微透镜位于同层，所述隔墙围绕所述微透镜，所述隔墙的内边缘与所述微透镜的边缘具有间距，所述隔墙的外边缘与所述制作区域的边界重合。