[发明专利]一种PN微米线制备方法有效
| 申请号： | 202110470930.3 | 申请日： | 2021-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN113161414B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 赵乐 | 申请（专利权）人： | 齐鲁工业大学 |
| 主分类号： | H01L29/66 | 分类号： | H01L29/66;B81C1/00 |
| 代理公司： | 济南格源知识产权代理有限公司 37306 | 代理人： | 韩洪淼 |
| 地址： | 250353 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种PN微米线制备方法，所述PN微米线包括微米线、P型接触面和N型接触面，所述方法包括：利用分子束外延生长方法制备PN结样品，并获取P型层厚度、N型层厚度和缓冲层厚度；根据P型层厚度、N型层厚度和缓冲层厚度计算微米线刻蚀深度和N型接触面刻蚀深度；利用湿蚀刻根据微米线刻蚀深度和N型接触面刻蚀深度在PN结样品上刻蚀出微米线和N型接触面；在P型接触面和N型接触面上沉积金属膜。能够制备出带有P型接触面和N型接触面的微米线，制备方法简单异形，制备的PN微米线的电学特性能够达到模拟神经纤维的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pn 微米 制备 方法 | ||
【主权项】：
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