[发明专利]一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 202110466735.3 | 申请日： | 2021-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN113214427B | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 季生象;刘亚栋;李小欧;顾雪松 | 申请（专利权）人： | 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;C08F220/28;C08F220/32;C08F220/38;G03F7/004 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 宫爱鹏 |
| 地址： | 510530 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种生物基ArF光刻胶成膜树脂、光刻胶组合物及其制备方法，包含如式I所示无规共聚物结构，其中n、m、x和y为单体的摩尔占比，0＜n≤0.3，0＜m≤0.8，0＜x≤0.2，0＜y≤0.3，n+m+x+y＝1；R |
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| 搜索关键词： | 一种 生物 arf 光刻 胶成膜 树脂 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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